Arrayforce™ 膜接触器

超纯水有着大量的严苛指标，因此就要求它必须经过各式各样的处理才能达成。不同工厂对超纯水的DO需求也不同，目前对一般面板厂而言超纯水DO只需小于50ppb，无需第二段脱氧过程进一步降低DO，只需一段MDG即可满足需求。 而半导体芯片对于超纯水不仅对DO，还对洁净度有着严格的要求，因此需要两段MDG单元。其中两段MDG单元各有不同的侧重点，make up 段 MDG 单元处理水量大，polish 段 MDG 单元接近出水点，对于材质洁净度要求高。 因此对于不同的两段脱氧工序选择不同的规格和材质的MDG，make up段MDG单元一般选择处理量大的14x28膜接触器，其单支处理量可达到91m3/hr；polish段MDG单元一般选择FRP+PVDF外壳的10寸膜接触器，其洁净度高，可保证出水水质要求。